真空泵机组以罗茨泵为主泵，以水环泵为前级泵串联而成的，真空泵机组选用的水环泵成为前级泵比其它的真空泵更为有利，因为它不但克服了单台水环泵使用时极限压力差（机组的极限压力比水环泵的极限压力有很大的提高）在一定压力下抽气速率低的缺点，而且与此同时又保留了罗茨泵能迅速工作，有比较大抽气速率的优点。

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机组中水环泵的作用主要是造成罗茨泵所需的预备真空，对于一般情况而言，单级水环泵极限真空度不高，而我国生产的罗茨泵要求的预真空又比较高。
因此实际上我们一般不用单级水环泵作为罗茨泵的前级泵，而是采用了极限压力较低的双级水环泵作为前级泵使用，这样还可以降低机组的极限压力。
一台泵与一台水环泵的极限压力是400Pa，这可以满足一般的真空需求，但它使用的范围会受到一定的限制，如果用两台罗茨泵串联再与水环泵组合，就可以大大提高机组的极限压力（可以达到25Pa）。
因此在这种类型里通常见到的是两台罗茨泵串联后再用双级泵作前级泵组成机组，如果需要更高的极限压力，可以使用三台罗茨泵与水环泵组合，它的极限压力可以达到1Pa。
倘若三级水环机组还是不能满足极限压力的时候，我们可以采用水环泵并联机械真空泵，这个机组主要用于需要处理大量水蒸汽，时间长且极限真空度要求非常高的抽真空系统，比如在真空干燥方面。
如果要求处理大量水蒸汽的真空系统中，使用水环泵是比较合适的，但是因为其极限真空度不高，而导致整个机组的极限真空度较低（这个只是相对而言）。
虽然在要求真空度较高的抽真空系统中，需要极限真空较高的机械真空泵作为前级泵使用，可以把气镇机械真空泵与水环泵并联，作为泵的前级泵。
真空干燥时，先用水环泵进行预抽，直到它的水蒸汽大量减少时，再开动气镇机械真空泵，切断水环泵，如果需要较长时间才能完成干燥的场合，所需冷却水和功率都比较少。