真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。

按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体捕集泵和气体传输泵。其广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业

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一、故意原因：
1.电动机烧坏：主要是电动机定子线圈烧坏，造成电机短路的原因很多，如瞬时电流太大，电机轴承长期磨损，造成轴承摩擦阻力变大，电机功率增大，引起温度升高而烧毁电机。此时首先要检查电机轴承，再检查电机线圈。对轴承进行更换，电动机烧坏的电动机，对电动机进行修理，再绕定子线圈。严重损坏的轴承及线圈，必须更换电动机。

2.旋片卡阻：主要表现为旋片与泵腔内表面的摩擦阻力太大，导致电机不能带动旋片。其原因为旋片变形，弹簧在旋转过程中无法复位，或者弹簧压力和旋片本身离心力的合力太大，造成旋片与泵腔内表面摩擦阻力过大。此时应及时修复旋片和弹簧，如不能修复，应更换。

二、抽真空泵不能达到极限真空：先检查真空系统的气密性，看看有没有轻微气体泄漏。然后打开气镇，让泵运转约30分钟，以抽干非抽油污染造成的可压缩蒸汽，排除可压缩蒸汽对极限真空度的影响。

除上述两个因素外，其它原因还主要是：油泵被污染、油泵更换、油滤器堵塞、造成压注系统油路不畅，供油不足，造成泵体内密封不严，此时需清洗内部油滤器，配油阀变形.磨损或损坏也可能造成供油不足，此时应检查配油阀更换；
长期使用造成真空泵旋片磨损，转子内弹簧张力不够，造成吸气室与排气室隔离不严密，因此，在真空泵抽真空性能下降时，应更换旋片和弹簧，并清洁转子和泵腔；检查排气阀，观察其动作是否失灵，造成排气不良，必要时应更换排气阀。

三、油漏：旋片式机械真空泵最常见的故障之一，主要是真空泵的油窗.油箱密封垫.电机轴承轴封三处有轴封，主要原因是真空泵使用过久，造成这些部位老化，密封失效，造成漏油。处理方法：更换老化油窗.轴封.密封垫和已经吸收泵油的毛毡垫。在修理完后，应用爱德华真空泵泵清洗真空泵，用溶剂清洗注油口的滤网，以保持油箱清洁。